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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren, Taschenbuch von Walter Olbrich, Springer
Entwicklung Und Optimierung Von Prozeßkomponenten Zur Ionenunterstützten Abscheidung Bei Pvd-verfahren, Taschenbuch Von Walter Olbrich, Springer Berlin, 978-3-540-58511-4, Seitenanzahl: 126
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2006989 BKF-DL-2 Abscheidung 2-tlg.
Die zweiteilige Abscheidung liegt mittig im Kochfeld der Downline Kochfeldabzüge und befindet sich unter dem Einströmgitter. Die Abscheideeinheit lässt sich zur einfachen Reinigung leicht in zwei Teile zerlegen. passend für: BKA 83 DLP BKF 83 DLP BKF 83 DL BKA 90 DLI BKA 83 DLC BKF 83 DLC
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